小型双炉体滑道管式炉同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建CVD系统。
该设备可用于石墨烯制备、硫化物制备等。
小型双炉体滑道管式炉技术参数：
微 型 管 式 炉 产品型号 CY-O1200-50SDM 炉管材质 高纯石英 炉管直径 50mm 炉管长度 1400mm 加热区长 300mm 恒温区长 200mm 工作温度 0～1100℃ 控温精度 ±1℃ 控温模式 30段或50段程序控温 显示模式 高亮数码管数字显示 密封方式 304不锈钢真空法兰 法兰接口 1/4英寸卡套接头，KF16/25/40接头 可抽真空 4.4E-3Pa 供电电源 AC:220V 50/60Hz 供 气 系 统 产品型号 CY-3Z 气体通道 3通道 测量部件 气体质量流量计 测量量程 A通道：0～100SCCM H2气 备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。 B通道：0～300SCCM N2气 C通道：0～500SCCM Ar气 测量精度 ±1.0%F.S 管道耐压 3MPa 工作压差 50～300KPa 连接管道 304不锈钢 控制阀门 304不锈钢针阀 接口规格 进气口和出气口为1/4英寸卡套接头 供电电源 AC:220V 50/60Hz 排 气 系 统 机械泵 旋片泵 抽气速率 4L/S 排气接口 KF16 真空测量 电阻规 极限真空 1.0E-1Pa 供电电源 AC:220V 50/60Hz 抽气接口 KF16
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