万级无尘棚
洁净棚：采用工业铝材（或不锈钢方通、铁方通喷塑）作为框架，风机滤网机组（FFU）送风，四周悬挂防静电垂帘（或钢化玻璃），其内部净化级别可达到100-10000级。适用于操作区内局部净化级别要求高的区域。
特点
1、组装式结构设计，安装方便，交货周期短。
2、移动方便（可选用万向轮）。
3、模块化结构，容易提高净化级别，扩展性强，且重复利用价值高。
4、相对超净工作台内部有效空间大；相对传统无尘室，具有成本低、施工快、且对楼层高度要求低的优势。
洁净度 | 洁净区域尺寸（feet） | 所用FFU数目 | 风量 （立方米/小时） |
10/100级 | 4×4×7 | 2 | 2300 |
4×8×7 | 4 | 4600 | |
6×8×7 | 6 | 6900 | |
6×12×7 | 9 | 10350 | |
6×16×7 | 12 | 13800 | |
10/100级 | 6×20×7 | 15 | 17250 |
8×8×7 | 8 | 9200 | |
8×10×7 | 10 | 11500 | |
8×12×7 | 12 | 13800 | |
8×16×7 | 16 | 18400 | |
8×20×7 | 20 | 23000 | |
10×12×7 | 15 | 17250 | |
12×12×7 | 18 | 20700 | |
1000级 | 6×12×7 | 2 | 2300 |
6×16×7 | 2 | 2300 | |
6×20×7 | 3 | 3450 | |
8×8×7 | 2 | 2300 | |
8×10×7 | 2 | 2300 | |
8×12×7 | 4 | 4600 | |
8×16×7 | 4 | 4600 | |
8×20×7 | 4 | 4600 | |
10×12×7 | 5 | 5750 | |
12×20×7 | 6 | 6900 | |
10000级 | 6×12×7 | 1 | 1150 |
6×16×7 | 1 | 1150 | |
6×20×7 | 2 | 2300 | |
8×8×7 | 1 | 1150 | |
8×10×7 | 2 | 2300 | |
8×12×7 | 2 | 2300 | |
8×16×7 | 2 | 2300 | |
8×20×7 | 2 | 2300 | |
10×12×7 | 3 | 3450 | |
12×20×7 | 4 | 4600
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