等离子源系统

频  率

13.56MHz  射频

40KHz  中频

功  率

0~1000W可调

0-5000W可调

             选 配

真空系统

真空腔体

材质

316L不锈钢、航空铝（选配）

腔体内部尺寸（MM）

500*600*500（宽*高*深)

腔体容积

150L

极板

17层，水平式，活动可调节

密封性

级焊接密封

泵

泵组

油泵/干泵+罗茨泵组合（选配）

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1×10⁵~1×10^-1Pa

质量流量计

＜±1% FS

气路控制

2-4路处理气体气路，气体流量可调

极限真空

5Pa

适用气体

流量范围

0-500SCCM（可调）

工艺气体

Ar、N₂、O₂、H₂等等（可选）

控制系统

1、PLC 自动控制；

2、7寸触摸屏,图形用户界面；

3、配方程序为 0~99；

4、多级权限操作；

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息；

6、存储工艺数据及错误信息；

7、报警信息提示及追溯；

8、图形化界面检测处理参数；

9、自动、手动操作可切换；

10、维护提示紧急停止按钮；

11、门感应器和真空互锁；

12、机器运行信号指示；

13、机器运行结束提示；

外观参数

外形尺寸(MM)

850*1700*1020(宽*高*深）

重  量

700KG

设施配置

电  力

五线线三相制AC380V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定

压缩空气

干燥压缩空气CDA

其  它

提供操作手册、维护手册、安装手册，易损件备件清单.