OTF-1200X-4-RTP-HV 高真空4RTP 炉 (1E-4 torr)-天津市科器高新技术公司

OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速热处理管式炉(4" 石英管)，配有高真空系统（机械泵 +分子泵) ，带KF-D25 真空法兰.它是专为半导体或太阳能电池基片（达3“）的退火而设计，采用10KW红外灯管加热，升温速度为 120°C/second. 30 段温度控制，精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线。

技术参数

炉子

结构

Compact 4“ RTP Tube Furnace（双层莫来石钢构)
内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

加热元件

8根红外灯管(D=10 L=300 T =200, mm)

工作温度

1100°C
炉子可以加热到1100°C, 可以打开上盖进行快速冷却

升温速度

室温~800℃： 50 ^oC/sec ，800℃~1000℃ 10^oC/sec

降温速度

64°C/min (在真空: 200 mtorr下), 117°C/min (在一个大气压下)

加热区

4" X12"恒温区（ +/-5°C ）

温控仪

PID 自动控制，30段程序带过热和断偶保护功能
热偶: K type
自整定功能
控温精度: +/- 0.5°C
RS485 串口和温控软件


控制芯片 + 数据线 + 软件	软件界面

石英管和样品架

石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length
3" 的样品架固定在滑动法兰上，石英材料
一片3" AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品。
AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性。

真空法兰

带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作，两个高温“O”型圈密封，.
滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确。
可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计测量其真空度，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

流量计

装在前面板上一路流量计调整范围 16 - 160 ml/min

电源

208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 10 KW Max. (> 60A 保险)

高真空系统

结构

移动架尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(W), mm
承重: 600 Lbs

分子泵控制面板 : LCD 显示

前级泵和分子泵安装在移动架里面.

真空度

6.3E-5 mbar ( 4" RTP 管式炉在 40 minutes内)

控制面板

一键操作 - 按一下“start"键，前级泵和分子泵便开始工作.
系统控制转速 - 根据真空度和腔体的漏气情况自动调整转速.
自保护功能 - 如果真空腔体漏气率太高不能达到高真空，系统会自动保护，避免因过热或过流而造成损坏。
LCD 显示屏 - 双线性参数检查界面，使操作更简单.