产品简介
GSL-1100X-6-S是一款炉管内径为6的真空管式炉,它可以在5的基片上生长多种薄膜（在不同气氛下）.该炉的工作温度为1100C,采用30段可编程PID数字温度控制器，温控精度:1C
详情介绍
GSL-1100X-6-S 是一款炉管内径为 6" 的真空管式炉 , 它可以在5“的基片上生长多种薄膜（在不同气氛下）. 该炉的工作温度为 1100°C, 采用30段可编程PID数字温度控制器，温控精度: ±1°C。
技术参数 | 炉体结构 | -
双层壳体，循环风冷. -
炉体表面温度< 70 ºC -
采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能 |
| 工作电压 | AC 220V |
| 功率 | 8KW |
| 炉管规格 | - 6" O.D x 40" 长
- 标配内包含一只石英管, 多余的管子可单独订购 (点击下图查看)
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| 加热元件 | NiCrAl 电阻丝 |
| 工作温度 | - 工作温度: 400 -1100°C
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升降温速率: 10°C/min(max) |
| 加热区 | -
加热区总长: 600mm (24'') -
恒温区长度: 中心200mm (精度±1°C) - 在800℃时炉膛温度分布曲线 ( 点击下图查看)
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| 控温仪 | -
采用30段可编程PID数字温度控制器 -
设有一个额外的温度校准检测系统 - 双K型热电偶测温.
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温控精度: ±1°C -
软件接口、模块和PC机不在标配内需额外订购 可选: PC接口和软件 |
| 密封法兰和进气接口 | -
不锈钢真空密封法兰双硅胶密封圈密封真空度可达到 (机械泵：10-2 torr、分子泵：10-4 torr). 真空泵不包含在内 右端法兰上设有一个铠装热偶检测口和KF40真空接口. ( 如需对炉膛温度进行校准请订购36" 长 x 1/4"dia K 型热电偶) 包括两个高纯氧化铝或石英管堵,设备使用时右端必须安装管堵阻止热的辐射, - Φ6"石英管堵
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| 产品尺寸 | - 炉体: 1000L x 680W x 920 H mm
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| 净重 | 250Kg |
| 保修期 | 整机保修一年，相关耗材除外。（如密封圈、炉管等） |
| Certificate |  |
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