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OTF-1200X-HVC 1200°C三温区二通道混气高真空CVD系统

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:
  • 品牌:
  • 产品类别:三通
  • 所在地:天津市
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2025-01-05 06:56:23
  • 浏览次数:1
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  • 联系人:潘海菁
  • 电    话:13803037528
产品简介

OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三温区管式炉,二路质子混气系统和高真空机组组成

详情介绍

OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三温区管式炉,二路质子混气系统和高真空机组组成。其工作温度可达1200℃,极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

技术参数

OTF-1200X-III 管式炉

壳体结构

  • 采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面温度都小于55
  • 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

炉管材料

采用高纯石英炉管

功率

2.5KW

输入电源

AC 208-240V 单相, 50/60Hz

加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,的延长加热元件的使用寿命)

工作温度

加热温度.: 1200°C
连续工作温度: 1100°C

升温速率

1~20°C/min 可编程

加热区长度

总加热区长度: 880mm (220mm + 440mm + 220mm)

三个温区

温度控制

  • PID30段可编程程序化控制
  • 控温精确度±1°C
  • 热电偶: 三个K 型热电偶 (已安装在炉体内)

真空法兰

  • 一对不锈钢法兰已经安装
  • 法兰上带有一机械压力表
  • 两个精密针阀
  • KF40的抽气接口

输入电源

AC 208-240V 电源, 50/60Hz

外型尺寸

1100(L) x 450(W) x 670(H), mm

高真空机组

壳体

  • 壳体尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • 承载量: 600 Lbs on top
  • 分子泵显示屏 : LCD 数字显示
  • 内装有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany

抽气速率

  • N2 33 L/s
  • He 39 L/s (2340L/minute)
  • H2 32 L/s

工作范围

1000 mbar <1E-7 mbar

极限

<1E-8 mbar

质量流量控制器

壳体

  • 采用316不锈钢
  • 混气箱尺寸Φ80X120mm
  • 外型尺寸 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

功率

18W

工作电源

AC 208-240V, 单相 50/60Hz



净重 100Kg
质保期 一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件
质量认证

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