VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机，针对于晶片的焊接或薄膜转移，其可处理样品尺寸为100mm x 100mm。仪器工作温度为500℃，在此温度下可对样品实加的压力为6T。
技术参数
| 结构 | - 两块150mm x150mm加热平台，采用高温合金钢制成，可承受温度为500℃
- 1000W的加热管嵌在加热平台的中间，以达到快速加热的效果
- 两个精密的温控器独立控制两块加热平台，可设置30段升降温程序
- 水冷管设计在加热平台的顶端，以达到快速冷却的效果
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| 液压泵 | - 20T的电动液压机与真空腔体相连接
- 两个加热平台之间的可移动距离为15mm
- 自动压力控制并带有数显压力显示
- 压力控制精度为+/-0.01 Mpa( 0.1 kg/cm2 )
- 两个加热平台工作温度为500℃，加热平台顶端安装有冷却水管。当工作温度高于200℃时，请注入冷却水（>15L/min）
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| 温控系统和压力显示 | - 两个精密的温控系统可设置30段升降温程序，期控温精度为+/1℃，分别独立控制两个加热平台。
- 温控系统采用PID方式进行温度调节，并带有过热和断偶保护。
- 工作温度为500℃。
- 升温速率：< 10℃
- 软件和PC接口安装在控温仪表上，可将温度程序和温度曲线导入到电脑中。
- 数字压力显示器（控制器）安装在真空腔体外，可设置其压力，当压力达到设置值时电机将自动停止。
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| 真空腔体 | - 电动液压装置和加热台都安装在真空腔体内。
- 真空腔体采用304不锈钢制作，并焊接有加强筋（防止真空状态下腔体变形），真空度可以达到10E-3 torr。
- 内部腔体尺寸为：372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H)
- 真空腔体前端有一直径为150mm的观察窗口
- 一个高灵敏度的真空计安装在真空腔体上，测量内部的真空度
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| 电源 | 功率:2500W 电源： 208 - 240VAC, 50/60 Hz 单相 |
| 外形尺寸 | 600mm(L) x 500mm(W) x 400mm(H) |
| 质保期 | 一年质保期，终生维护 |
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