PCE-80是一款较打型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。
技术参数
输入电源 |
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射频功率 |
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等离子腔体 |
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控制面板 |
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真空泵 |
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通入气体 | 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定) |
可选 |
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外型尺寸 | 620 L ×450 W ×600 H, mm |
质保期 | 一年质保期,终生维护 |
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