- 商品名称: 大型高性能空气轴承磁性电机线性平台A-123
- 商品编号: A-123
- 概要介绍: 高性能纳米级定位平台 扫描应用的选择或精密定位 无尘室兼容 运动平台的尺寸210 毫米×210 毫米 行程50 毫米至750 毫米 分辨率达1纳米
产品概述
PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供的性能、质量和使用寿命。
高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至速度，高承载能力轴承可支承重达60 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装。
应用领域
PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。
由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。
附件和可选配件
- 编码器
- PIglide过滤器和空气预处理器
- 单轴和多轴运动控制器
- 气动夹紧/解锁选项
- XY装置和个性化配置
- 电缆轨道变型
- 用于垂直（Z）方向的配重选项
- 可提供定制版
- 花岗岩底座板和隔振系统
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