NFS-X 50nm分辨率闭环控制平台是一款使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台，经CE和UKCA认证。

NFS-X 50nm分辨率闭环控制平台内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率，有8种台面尺寸可供选择，满足不同需求。

细节：

·由于采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，有各种行程和台面尺寸可供选择。

·实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别，极大地提升了可用性。

·提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

注意：

·请在温度变化幅度不大的环境中使用。（推荐：23±1℃）

·请尽量在振动较小的环境中使用。或采取一定的防振措施。

·请在没有油雾的环境中使用。光栅尺如果被污染的话可能会产生误差。

·如需安装大于台面尺寸的工件，请向我们咨询。

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上海芬创信息科技有限公司2004年成立至今，作为专业的光机电产品和技术服务提供商，芬创科技长期致力于将国际上的50nm分辨率闭环控制平台技术及研究方法介绍引进到中国；专注为中国的光学电子/微电子/激光应用/生物/医药/物理、光学研究机构/计量检测机构/机械加工用户提供高品质的50nm分辨率闭环控制平台和技术服务。