这个晶圆光学检测系统具有人工智能的自动检查功能。的图像处理AOI系统可提供可定制性和灵活性，以及可靠，高度可重复的结果。可以对AI增强的软件nTelligence进行培训，以使用nSpec®上的稀疏数据检测缺陷。一旦经过训练，就可以将算法导入到生产工具中，并且用户可以开始自动对感兴趣的缺陷和特征进行分类。该系统生成晶片上检测到的所有缺陷的缺陷图报告。

无论用户对样品检验有什么具体要求，我们都能提供广范的解决方案来获得快速的结果。
nSpec®CPS 300mm自动光学检测系统是高度受控的洁净室环境的理想系统。该系统可按顺序运行多个扫描程序。用户友好的软件使配置配方变得毫不费力。而且，随着需求的发展，配方非常易于保存和修改。
1. 这种300毫米尺寸的设备支持：

• HEPA空气过滤
• 空气离子发生器
• 自动加载端口

• 晶圆自动处理
• 可设置多种分辨率，范围从0.25 µm到更高
• 快速扫描功能
• 可定制的缺陷报告
• 可设置单个图像捕获和扫描
• 提供各种样品夹头，可满足特定需求
• 对缺陷或感兴趣特征进行检测和分类的鲁棒分析
• 拥有检查和审查程序
• 能够多系统同步
• 占地面积小，设施要求蕞少
• 利用机架安装控件
• 带有门联锁

• 重量：540公斤
• 尺寸（宽x深x高）：158cm x 173cm x 202cm
• 蕞小真空要求：24英寸汞柱（70 kPa）
• 电源：110v / 220v，30安培

• 照明模式：明场，暗场，DIC（Nomarski）
• 光源：白光LED（可用其他选项）
• 物镜倍数：2.5、5、10、20或50x，用户可选

• 行程：典型值为350 mm（X和Y方向）
• 定位：使用闭环编码器，线性伺服电机（步进为50 nm）
• 重复性：+/- 0.5 µm
• 行程平整度：20 µm
• 结构：施工精密地面滚道和高刚性直线导轨
• 支撑平台：集成到隔离平台中
• 带有橱柜系统
• 中心负荷能力：5公斤

• 可根据要求提供AFM
• SECS / GEM OCR
• 空气电离仪