X轴

测量范围:100mm或200mm

分辨率:0.05μm

检测方法:反射型线性编码器

驱动速度:80mm/s和手动

测量速度:0.02-5mm/s

移动方向:向前／向后

直线度:0.8μm/100mm,2μm/200mm

*当X轴在水平方向上指示精度:±(1+0.01L)μm(CV-3100S4,H4,W4)

(20°C时)±(0.8+0.01L)μm(CV-4100S4,H4,W4)

±(1+0.02L)μm(CV-3100S8,H8,W8)

±(0.8+0.02L)μm(CV-4100S8,H8,W8)

*L为驱动长度(mm)

倾斜范围:±45°

Z2轴(立柱)

垂直行程:300mm或500mm

分辨率:1μm

检测方法:ABSOLUTE线性编码器

驱动速度:0-20mm/s和手动

Z1轴(检测器)

测量范围:±25mm

分辨率:0.2μm(CV-3100),0.05μm(CV-4100)

检测方法:线性编码器(CV-3100),

激光全息测微计(CV-4100)

指示精度:±(2+I4HI/100)μm(CV-3100)

(20°C时)±(0.8+I2HI/100)μm(CV-4100)

*H为水平位置上的测量高度(mm)

测针上／下运作:弧形运动

测针方向:向上／向下

测力:30mN

跟踪角度:向上：77°、向下：87°(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)

测针针尖半径:25μm、硬质合金针尖

基座尺寸(WxH):750x600mm或1000x450mm

基座材料:花岗岩

重量

主机:140kg(S4),150kg(H4),155kg(W4),145kg(S8),155kg(H8),160kg(W8)

　控制装置:14kg

　遥控箱:0.9kg

电源:100–240VAC±10%,50/60Hz

能耗:400W(限主机)

批量校准功能

•使用校准规，可同时进行设备的Z轴增益，对称及针尖半径的校准。

*产品信息仅供参考，型号和技术参数生产厂家有可能随时更改