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镜筒:粗动:调节范围90mm微动:调节范围2mm高(Z)测量:范围1mm,Z小读数0.001mm
测量范围X——轴移动测量范围 50mmY——轴移动测量范围 50mm圆工作台旋转范围 0-360º
物镜放大倍数:2.5X/0.08、 10X/0.25焦距(mm):43.40、17.13
X轴遇到测量范围50nm,Y轴遇到测量范围13nm,测量器分度值:0.01nm
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