真空区域划分：
| 真空区域 | 压强范围 | |
| 托（Torr） | 帕（Pa） | |
| 低真空 | 760-10 | 101325-1333 |
| 中真空 | 10-10-3 | 1333-1.33×10-1 |
| 高真空 | 10-3 -10-8 | 1.33×10-1-10-6 |
| 超高真空 | 10-8-10-12 | 10-6-10-10 |
| *真空 | ＜10-12 | ＜10-10 |
