早期超纯水设备的需求主要是来自发电、医药化工、造纸等行业，水质要求相对较低，其制备只要采用离子交换，该方法的主要缺点是化学药剂再生，既麻烦又不经济，而且由于强行树脂对一般有机分子除去效果差，出水中TOC含量高，随着半导体工业发展，对超纯水质量要求提高，从而大大的推动了纯水技术的发展，到了上个世纪末，膜技术得到了广泛的应用，微滤，超滤，电渗析和反渗透技术*的水处理技术得到了飞速的发展，膜法制备纯水取代了传统的离子交换设备系统，解决了TOC问题，满足了电子行业对纯水质量的要求取设备工艺。