半导体显微镜的校准方法分享

　　半导体显微镜是鉴定成品材料质量*的仪器。半导体显微镜主要通过材料显微组织的定性，定量晶界组织等表征识别来对材料工艺流程，物理特性，失效成因等综合因素做出科学的判断，并对金属细微结构以及非金属夹杂物的分布形貌等进行科学研究。

　　伴随着经济进入新常态，国内材料行业必定在供给侧改革的大趋势下迎来行业的春天。从zui传统的黑色钢铁冶炼到zui热门的纳米材料制造无不蕴藏着巨大的商机。那么成品材料的质量鉴定就成为了行业突破的首要问题。其中zui重要的一项鉴定检查程序就是通过一台专业的半导体显微镜对材料样品进行金相检验。

　　1、物镜场曲

　　将一半导体显微镜物镜安装好，将0.01mm标准测微尺放在工作台上并压紧;旋转调焦旋钮，将焦点调整在测微尺的中间，视场中心成像清晰，此时将千分表测头与工作台表面相接触并对好表的零位;再次旋转半导体显微镜调焦旋转，把焦点调整到测微尺的边缘，使视场边缘成像清晰。半导体显微镜观察千分表，其zui大偏移量即为该物镜的场曲误差，其余物镜以此类推进行校准。

　　2、物镜放大倍数的正确性

　　半导体显微镜装上10X标准目镜和被检物镜，将0.01mm标准没微尺放在工作台上并压紧。半导体显微镜观察时测微尺应与目镜中的分划板相符合，其偏移量测是放大倍数的误差。其余物镜以此类推进行校校准，其误差不大于5%

　　3、目镜分划板的准确度

　　将带分划板目镜的镜头旋下，把分划板放置在万工显工作台上并调好焦距;调整半导体显微镜工作台，使分划板的水平线与万工显纵向导轨行程平行并对好零位，按每20格测量一次，直到第100格，其误差不大于5um

　　4、物镜成像清晰范围

　　用被检物镜及10X目镜对测微尺或金相试样进行调焦，使成像清晰。当视场中心像zui清晰时，半导体显微镜测得视场内的成像清晰范围的误差不低于60%

　　5、各物镜相对于目镜的格值

　　装上被检半导体显微镜的10X目镜，将0.01mm标准测微尺(*使用随机0.01mm测微尺)放在工作台上并压紧;调整测微尺标尺轴线与半导体显微镜目镜分划板标尺轴线平行，并读出目镜分划板i条刻线里包含测微尺n条刻线数，该物镜相对于目镜的格值为：C=n/i*0.01mm.其余物镜的格值以此类推进行校准。