高温炉安全操作规程
15:20:01
高温炉安全操作规程
1 准备工作
a,检查电源线接触是否良好
b,检查连接线是否正常
c,检查冷却水是否正常
d,检查密封性是否正常
e, 准备所需工具:无尘纸、*、帆布手套、作业手套、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘
2 开炉
a,打开主电源开关
b, 向炉体充氩气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板
c, 将输送车开关打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按钮,取出 。石墨坩埚,依次放置于石墨推车上输送车开关.
d, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物
3装料
a,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。
b、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。
c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门
4 抽气
a、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封
b、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开干式真空泵 。阀门,开始抽气测试泄漏率,
c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开氩气阀门充氩气(20L/min)。
d. 加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。
5.冷却
a、加热结束后,按工艺条件进行冷却;
b、炉内温度降低至 200℃以下,压力达到一个大气压后才可打开炉门,继续冷却。
c、*冷却至室温后,将输送车开关打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按钮,取出石墨坩埚,取出硅料,并进行分装。
d、清扫炉体后关闭炉门,将炉体抽成负压。
e、清理并妥善放置其它附属物件。
1、凡本网注明"来源:兴旺宝"的所有作品,版权均属于兴旺宝,转载请必须注明兴旺宝,https://www.xwboo.com/。违反者本网将追究相关法律责任。
2、企业发布的公司新闻、技术文章、资料下载等内容,如涉及侵权、违规遭投诉的,一律由发布企业自行承担责任,本网有权删除内容并追溯责任。
3、本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
4、如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
SFC-24超临界流体泵
WiFi型ModBus-TCP温湿度记录仪
高压静电式油烟净化设备
1800度钟罩炉
二位五通电磁阀 FLXC-2/5 铝合金材质