主动隔振平台具有高频响、高精度的特点

2022

06-13

11:30:06

 173

来源：努美（北京）科技有限公司

　　主动隔振平台可分为两类：主动隔振和被动隔振。其中主动隔振是通过传感器和执行器，提供大小相等，方向相反的力，抵消振动对目标的影响。主动隔振克服了被动各种平台的共振频率附近频率无法消除的问题，拓展了隔振的频率范围（尤其是低频范围），降低了振动传递率。

　　隔振平台由减振平台和控制器两部分组成。减振平台采用精密金属弹簧实现被动隔振，由精密直线电机实现主动减振，用于反馈控制检测的速度传感器采用超精密震动探头，所有零部件封闭在机体内，系统运行时不需提供额外压缩空气，能自适应调节地基前馈，实现自由度减振。

　　低频振动能量大，波长长，距离大，电镜对低频振动敏感，电镜内部有气缸（被动），自行可以消除中高频振动。高频振动可以换位置解决，低频振动难以通过被动去解决，用于将超精密仪器与低频振动隔离，人体工程学设计使用户可以舒适地执行要求应用。另外，桌子支架底部安装脚轮和调平脚，使用户可以将桌子放在所需的位置。

　　主动隔振平台不需要气源来操作系统，隔离器单元中的强力金属弹簧不仅支撑重型有效载荷，还为高频振动提供出色的被动隔振，单个作动器为系统单个作动器对平台振动所能施加反作用力的值。音圈电机其结构类似于喇叭的音圈而得名，具有高频响、高精度的特点。加速度传感器是感知外界振动信号加速度大小的器件，控制器主要负责信号放大、滤波、变换、采集数据，计算，功率放大的模块。

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