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表面电阻率测试仪测量采用三电极法对试样进行测试,其试验装置主要有平板式电极装置和高阻计两部分组成。基本原理是对试样加入不同挡位的直流电压,流经试样的微弱电流用标准电阻取样放大后,从高阻计上读出。数字直接显示出电阻值,精度高、显示迅速、稳定性好、读数方便。
根据欧姆定律,被测电阻Rx等于施加电压V除以通过的电流I。传统的高阻计的工作原理是测量电压V固定,通过测量流过取样电阻的电流I来得到电阻值。
从欧姆定律可以看出,由于电流I是与电阻成反比,而不是成正比,所以电阻的显示值是非线性的,即电阻无穷大时,电流为零,即表头的零位处是∞,其附近的刻度非常密,分辨率很低。
整个刻度是非线性的。又由于测量不同的电阻时,其电压V也会有些变化,所以普通的高阻计是精度差、分辨率低。
本仪器是同时测出电阻两端的电压V和流过电阻的电流I,通过内部的大规模集成电路完成电压除以电流的计算,然后把所得到的结果经过A/D转换后以数字显示出电阻值,即便是电阻两端的电压V和流过电阻的电流I是同时变化,其显示的电阻值不象普通高阻计那样因被测电压V的变化或电流I的变化而变,所以,即使测量电压、被测量电阻、电源电压等发生变化对其结果影响不大,其测量精度很高(),从理论上讲其误差可以做到零,而实际误差可以做到千分之几或万分之几。
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