检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
检漏仪使用中产生测量误差的主要来源主要包括8个方面:
一、在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大,漏入氦气在途中损失不相等,这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。
二、进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。
三、所用标准漏孔的标称漏率有误差。
四、输出指示与漏率的线性关系差。
五、校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时,所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。
六、性能不稳定。
七、氦气纯度不稳定或存在误差。
八、后也就是检漏操作人员的因素,包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。
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