SiC同质外延厚度分析

2022

05-05

18:10:03

 294

来源：苏州英莳特仪器科技有限公司

钝化层分析钝化层作为保护层、绝缘层或抗反射层，在半导体材料中扮演着重要的角色。 VERTEX 系列光谱仪是分析钝化层的理想工具，它可以实现快速灵敏的无损分析。
磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和磷的定量分析分析SiN等离子层和Si-O基钝化层分析超低K层

厚度分析 VERTEX 系列光谱仪可用于测量半导体层状结构中的层厚度，精度*。此应用是基于对红外光在层状结构中产生的光干涉效应的分析，可用于亚微米量级至毫米量级的厚度分析。
用反射或透射实验分析层厚度。的分析软件，用于分析复杂的层状结构。可选薄膜扫描成像附件，可测量直径至12”的硅晶片。

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