OLED材料升华仪的内部构造分析

2021

12-08

09:38:00

 444

来源：（株）知友技术

　　OLED材料升华仪的真空组件包括旋片式机械泵、涡轮分子泵、分子泵控制电源、复合真空计、真空规管、真空连接件、工业制冷机、粉尘过滤器、油雾过滤器等，在涡轮分子泵与主加热石英管之间有冷阱吸收器，油泵前端配置粉尘过滤器，油泵出气口配置油雾过滤器，工业制冷机配合使用。过滤方式系统采用三级过滤保护装置，分别采用5级微孔金属滤网、一套液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤。

　　炉体升降机构：炉体为开启式，由气动控制可上下启闭，并设有防呆装置；

　　真空获得系统：两级泵（机械泵+分子泵，当分子泵工作时机械泵作为前级泵）；

　　真空显示系统：复合真空计（由电阻真空计+电离真空计组成）；

　　水冷系统：设备预留水冷接口，可搭配水冷机对分子泵及法兰进行循环水冷却。

　　气体过滤：气体过滤器安装在真空室与泵体之间，有效避免在低真空工作阶段，气体抽速较快时泵体对大分子颗粒的吸入，有效的保护了真空机组；

　　温控系统：人机界面加PLC控制，内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数据。

　　OLED材料升华仪的提纯装置增加照明灯采用长条观察视窗，可清楚地看到升华区，保温区材料升华和沉积的状态；

　　提纯装置本底真空度高，能清洁获得较的材料；

　　三层石英管结构可保证真空室管不受污染，保持较高的真空度。中层管取料方便，易于清洗，内层料管分段升华后各段料容易区分，并有滤网防止粉尘随气流飘动；

　　提纯材料舟采用导轨送、取蒸发舟，运动平稳，取送方便；

　　提纯装置配有过滤器：粉尘沉积冷阱，防止真空系统污染；

　　采用触摸屏人机智能控制，一次设好升温、降温曲线及生产程序，装置可全部自动完成，并有报警功能。

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