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X-射线荧光光谱仪是一种能同时测定多种元素的快速仪器。当样品受到X射线照射时,每个元素原子的内层(K,L或M层)电子被激发出逐出原子,引起电子跃迁,并发出该元素特征的X射线荧光。每种元素都有其特定波长的X射线特征。利用X射线荧光光谱仪(EDXRF)荧光X射线具有不同的能量特性,探测器通过自身的能量分辨能力来分辨所探测的X射线。
从光源激发的样本产生的X射线直接进入探测器,探测器将光信号转换成电信号,由主放大器输出脉冲传输到ADC(ADC),在此,模拟的脉冲振幅转换成数字信号,产生的数字作为多道分析仪(MCA)连接的地址,然后根据这些地址检测不同的脉冲即X射线的能量,并记录相应的脉冲数量。
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