国产光刻机迎来突破:芯上微装AST6200光刻机获行业头部客户重复订单
上海芯上微装科技股份有限公司自主研发的350nm步进投影光刻机(AST6200)可广泛应用于功率器件、射频前端、光电子芯片及Micro LED新型显示等制程场景。- 2026-08-11 14:20:16 20449
- 光刻机AST6200光刻机
2021-04-22 09:56:36来源:TechWeb 阅读量:197 评论
国产光刻机迎来突破:芯上微装AST6200光刻机获行业头部客户重复订单
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