半导体所、新疆理化所采用386nm近紫外GaN基激光器直接倍频实现193nm深紫外激光
193nm深紫外(DUV)激光因具有高空间分辨率、高光子能量等特点,在半导体器件先进制造、微纳材料分析、生物医学检测等领域具有重要应用价值。- 2025-12-24 14:21:40 16871
- 深紫外激光激光器
2025-09-11 14:59:23来源:力星激光 阅读量:17199 评论
半导体所、新疆理化所采用386nm近紫外GaN基激光器直接倍频实现193nm深紫外激光
193nm深紫外(DUV)激光因具有高空间分辨率、高光子能量等特点,在半导体器件先进制造、微纳材料分析、生物医学检测等领域具有重要应用价值。大族光子环形光斑激光器实力加冕“焊典奖”,破局高反材料焊接!
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