《表面化学分析俄歇电子能谱选择仪器性能参数的表述》征求意见

2024-03-29 08:41:58来源：仪表网阅读量：31 评论

导读：本文件给出了表述俄歇电子能谱仪特定性能参数的要求。

　　近日，由厦门荷清教育咨询有限公司、厦门大学等单位起草，TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口的国家标准计划《表面化学分析俄歇电子能谱选择仪器性能参数的表述》征求意见稿已编制完成，现公开征求意见。

　　全球有多家厂商生产俄歇电子能谱仪(AES)和扫描俄歇电子显微镜(SAM)。尽管每台仪器的 AES 分析方法的基本原理是相同的，但仪器的具体设计和性能说明的方式各不相同。因此，通常很难比较不同厂商生产的仪器性能。本文件提供一个基本项目单，以使所有俄歇电子能谱仪能以共同的方式来表述。本文件无意取代厂商的说明书，厂商的说明书可以长达 30 页或更多。本文件目的是使厂商说明书中确定的某些项目具有一致和明确的含义。

　　本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

　　本文件代替GB/T 25187—2010《表面化学分析俄歇电子能谱选择仪器性能参数的表述》，与GB/T 25187—2010相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

　　a) 更改了术语和定义(见第3章，2010年版的第3章)；

　　b) “空间分辨”更改为“横向分辨”(见5.5，2010版的5.5)。

　　本文件给出了表述俄歇电子能谱仪特定性能参数的要求。

　　横向分辨和束流

　　方法 1

　　应分析的样品有一个小于仪器标称的横向分辨的 30%的特貌区。该区的特征俄歇电子信号扫描线的 FWHM 定义为横向分辨。特征信号从最大值的 50%升至 100%再降至 50%的两点间距离规定为横向分辨。

　　方法 2

　　应分析样品由两种材料组成，其表面在同一平面上且沿一公共直边相连结。当与该公共直边成 90°角方向测量时，这两种材料之一的特征俄歇电子强度的谱线被用于定义横向分辨。在远离公共直边的平台区俄歇电子强度之差从 20%变化到 80%的两点间距离定义为该扫描方向上的横向分辨。

　　方法 3

　　待分析的样品具有某一材料的刃边，该刃边在样品平面上覆盖住一个深度超过其直径 5 倍的小孔的半边。与刃边成 90°角方向测量时，刃边材料的特征俄歇电子强度的扫描线用以定义横向分辨。在离开刃边的平台区的俄歇电子强度差值从 20%变化到 80%的两点间距离定义为该扫描方向上的横向分辨。

　　谱仪强度性能和能量分辨

　　方法 1

　　噪声定义为对 970eV 和 994eV 间等能量间隔进行 121 次独立测量所得本底强度值的rms 偏差，每道测量收谱时间为 1 s，通道间隔约为 0.2 eV。rms 偏差是测量强度与其最小二乘法拟合直线的离差计算得到的。

　　方法 2

　　噪声定义为 975 eV 处 121 个样品的本底强度与其均值离差的 rms 偏差，其每次测量数据收集时间为 1 s。

　　更多详情内容请见附件。

相关资料下载：

征求意见稿.pdf 编制说明.pdf

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