主要产品技术特征及指标：

●采用技术--积木错位蝇眼透镜(109个)消衍射和线条陡直增强技术，
提高实用光刻分辨力。
●采用i线(365nm)紫外曝光光源和的光学系统实现高均匀照明，光
源聚光角小，平行性好。
●配备双目双视场显微镜和CCD图像对准系统，采用22寸宽屏液晶显示
器，可同时观察实时对准过程，也可存储记录曝光结果。
●采用三点式加球气浮调平机构自动样片调平，对大小样片具有高调平
精度。
●曝光参数设定采用计算机控制，智能化过程操作，菜单界面友好。
●关键器件采用进口国际品牌产品，整机可靠性高。
●支持真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种
功能。
●曝光面积：150mm×150mm；对准精度：≤±0.8 μm。
●掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸。
●光刻分辨力：0.8-1 μm（胶厚2 μm的正胶）。
●曝光方式：定时（倒计时方式），0.1s-9999s任意设定，设定精度0.1s。
●胶厚：500 μm(SU8胶，用户提供匀胶条件)。
●汞灯功率：1000W（直流，德国欧司朗，长寿命型）。
● 照明不均匀性： 2.5%（Φ100mm 范围），5%（Φ150mm范围）。