产品介绍 |
EJA智能变送器是日本横河电机推出的采用真正的数字化传感器。 采用微电子加工技术(MEMS)在一个单晶硅芯片表面的中心和边缘制作两个形状、尺寸、材质一致的H形状的谐振梁,谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡。单晶硅片的上下表面受到的压力不等时,将产生形变,导致中心谐振梁因压缩力而频率减小,边缘谐振因受拉伸力而频率增加。 |
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产品介绍EJA智能变送器是日本横河电机推出的采用真正的数字化传感器
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EJA智能变送器是日本横河电机推出的采用真正的数字化传感器。 采用微电子加工技术(MEMS)在一个单晶硅芯片表面的中心和边缘制作两个形状、尺寸、材质一致的H形状的谐振梁,谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡。单晶硅片的上下表面受到的压力不等时,将产生形变,导致中心谐振梁因压缩力而频率减小,边缘谐振因受拉伸力而频率增加。 |
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