技术参数
PhoeniXL300 | PhoeniXL300Dry | PhoeniXL300Mudul | ||
| zui小可检漏率（真空模式） | mbar.l/s | <5x10-12 | <3x10-11 | <5x10-12/<8x10-12 |
| zui小可检漏率（吸枪模式） | mbar.l/s | <1x10-7 | <1x10-7 | <1x10-8 |
| zui大可检氦漏率（真空模式） | mbar.l/s | >0.1 | >0.1 | >0.1 |
| 抽气口允许zui大压强 | mbar | 15 | 15 | 15 |
| 分流方式下抽气口允许zui大压强 | mbar | 1000 | ||
| 设计名义抽速 | m3 | 2.550Hz 360Hz | 1.650Hz 1.860Hz | 16/2050/60HzD16B 25/3050/60HzD25B |
| 对氦的抽速 | l/s | >2.5 | >2.5 | >2.5 |
| 带D16B泵时的分流抽速 | l/s | 1650Hz | ||
| 带D25B泵时的分流抽速 | l/s | 2550Hz | ||
| 氦信号的反应时间 | s | <1 | <1 | <1 |
| 检漏仪启动时间 | min | <2 | <2 | <2 |
| 质谱室 | 1800扇形偏转磁场 | |||
| 可检质量数 | amu | 4;3;2 | 4;3;2 | 4;3;2 |
| 继电器输出 | 4 | 4 | 4 | |
| SPS输入 | 6 | 6 | 6 | |
| 测试口连接方式 | DN25KF | |||
| 手持遥控连接线长度 | m | 4zui长32 | 4zui长32 | 4zui长32 |
| 功耗 | VA | 420 | 350 | 350 |
| 尺寸 | mm | 495x456x314 | 495x456x314 | 495x456x314 |
| 重量 | kg | 40 | 37.5 | 29 |
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