蓝宝石隔膜真空计 SPG5/6/7的受压部采用了高耐腐蚀性、高耐热性且机械特性优异的单晶体蓝宝石，通过检测静电容量，即使在高温检测环境下也能实现高的检测重复性。
通过的信号处理技术实现了温度特性、直线性等误差小的检测，由微加工技术而形成的蓝宝石传感器实现了小型、轻量化的自加热型隔膜真空计。

提高品质

真空计多数在有大的压力环境下使用，是容易因各种原因引起零点漂移的产品。真空计的零点漂移会影响控制量，从而会影响*终产品的品质。蓝宝石隔膜真空计采用了零点不易漂移的构造。

提高生产性

减少了设备的停机时间。备有用于减少停机避免时间浪费的功能。

改善工艺

改善对以前只能通过压力信号的变化才能识别的各种信息进行可视化的工艺的客户作出贡献。

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（请注意）
登载的产品规格书・使用说明书中记述的产品与客户使用的产品的版本有可能不同，敬请注意。

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产品规格书

使用说明书／自控资料

* 2012年3月之前的内容里，含有一部分旧名称，敬请谅解。