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泡生法蓝宝石晶体生长炉

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:
  • 品牌:
  • 产品类别:单晶硅生长炉
  • 所在地:郑州市
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2023-09-14 06:21:05
  • 浏览次数:21
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  • 所在地区:河南郑州市
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产品简介

泡生法蓝宝石晶体生长炉

详情介绍

产品介绍

蓝宝石晶体生长炉为采用电阻加热方式的蓝宝石单晶体生长设备,利用泡生法原理可生长出30-65公斤重的蓝宝石晶体。设备中用于蓝宝石生长的真空腔体采用立式结构,真空腔体,包括上顶盖及底板都采用双层水冷却结构,上顶盖可开启。

工作原理

设备的工作原理是在真空环境中,通过电阻加热将三氧化二铝(AL203)原材料熔化,通过籽品引导,用精密上称重技术进行微量提升法(泡生法)生长优质光学单品的设备。
设备组成
设备主要由真空炉体、称重传感器、品体提升和旋转机构、热场系统、电控系统、自动控制系统、真空抽气机组、气路系统、水路系统、安装机台等部分组成。

设备特点:
1、采用“分子泵+机械泵”的真空无油系统,节能隆耗、操作方便、长品环境更加洁净,提高品体质量:2、进口定制全量程称重传感器,具有超高测量精度,保证品体成品质量:3、采用设计拉仲机构,控制精度高,抗干扰能力强:4、设计的热场结构,结合专业的长晶工艺,引品、生长过程易于操作、控制,成晶率高:

技术参数

炉内真空极限

≤9×10-5Pa

长晶阶段真空度

≤5.0×10-4Pa

熔炼温

1650℃

 

 

炉体

炉体内尺寸(直径*高):750×1020(±5)m

炉体材料:内筒316L.,外筒304L

炉盖升降行程:上下120mm旋转180

 

 

 

 

 

籽晶杆

 

材质:主体为不锈钢和铜焊接

生长晶体:允许生长重量30kg60kg

转速/精度:1-201pm5%

提拉速度连续可调范围和精度:/0.05-2mm/h2%FS,电源波动小于±5%

快提拉速度 连续升降可:10-100mm/min

称重量程精度:0-100kg/±10g

 

压缩空气

压力:0.70kgf/cm2

流量:2~7/min

氩气

压力:6~7kgf/cm2

用量:0.5m3/周期

 

冷却水

入口压力:2.0±0.5kg/cm2

入,出口压力:<2kg/cm2

入口水温:10℃<温度<20℃

流量:6m3h

 

电控系统电源

电压:380VAC

功率:150KW

频率:50HZ

相数:3

真空配置

分子泵、机械泵、闸板阀、真空管道

真空测量系统

真空管道真空测量采用双控制保险配置测量范围:大气压到6×10-7Pa

自动控制系统

PAC全自动运行程序

气路系统

四路氩气进路系统,炉膛氩气为两级充气系统

水冷却系统

炉体发热部分冷却系统,设有总进总出水管各一路总进水设水压传感器主要工作回路设有水流和水温传感器

设备占地面积

(××)

2240×1130×3020mm3

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