产品介绍
1、设备外形小巧，结构紧凑，操作简单易维护；
2、进口316不锈钢材质，耐腐蚀；
3、进口针阀精密流量控制；
4、两路工艺反应气体通道；
5、可根据客户需求定制。
产品应用
清洗：有效去除纳米级有机污染物，增强与其他表面的附着力
活化：改变表面润湿性，使表面亲水或疏水
改性：在产品表面引入功能团，羟基、羧基
灭菌：去除微生物污染物
聚合：沉积具有功能端基的聚合物，在等离子体活化表面接枝聚合物
产品选型
| 型号 | 容量 | 电源频率/功率 | 腔体尺寸 | 腔体材质 | 外形尺寸 |
| TS-VPM02（原型TS-PL02） | 2升 | 40KHz/300W | 直径100*270（mm） | 316不锈钢 | 550*600*400 |
| TS-VPM05（原型TS-PL05） | 5升 | 40KHz/500W | 直径150*280（mm） | 316不锈钢 | 660*700*600 |
| TS-VPM10（原型TS-PL10） | 10升 | 40KHz/600W | 200*200*270（mm） | 316不锈钢 | 660*700*600 |
技术参数
| 名称 | 规格参数 |
| 真空泵 | 油泵/干泵（选配） |
| 气体流量 | 100-1000ml/s |
| 清洗时间 | 1-100分钟可调 |
| 气体通道 | 两路工作气体 |
| 控制方式 | 人机界面 |
| 冷却方式 | 风冷 |
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