EK系列,应用于反射/透射光应用的手动显微镜平台
Marzhauser Wetzlar作为德国老牌显微镜平台生产厂商,与四大显微镜品牌Nikon,Olympic,Zeiss,Leica均可匹配适用,可作为手动显微镜平台用于反射/透射光应用,用户可根据不同的使用环境选择相匹配的样品架,除玻璃板和金属板以外,Marzhauser为用户提供适用于不同尺寸的晶圆装载架,允许用户搭载不同尺寸的晶圆。行程范围从100 mm到300 mm范围内可选,的晶圆夹持器需要搭载相应的转接件安装使用,允许用户对平台进行集成应用,并不局限于显微镜型号的匹配。EK系列手动显微镜平台仅适用于正置显微镜的装配,且该系列产品无形成反馈,作为显微镜手动平台,具有经济实惠的价格优势。
Marzhauser显微镜平台的一个特色功能是:大尺寸行程的平台在搭载12"晶圆的情况下仍可保持较高的精度,行程超过150 x 150毫米的平台配备有的调整旋杆,即使在更大的旅行范围内仍能得到更快的调整速度,调整旋杆的同轴驱动设计更加方便用户操作使用。
手动显微镜平台 EK100 ×100(正置显微镜)
订购型号 | 00-22-401-0000 |
行程 | 102 ×102 mm(max) |
驱动 | 同轴驱动/齿条-小齿轮 |
材料 | 铝 |
重量 | ~1.6 kg |
承重 | 5.0 kg |
适用显微镜型号:
Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
DM2000 | E800 | BX40 | Axioplan |
DM2500 | Eclipse E400 | BX50 | Axioplan 2 |
DM2500M | Eclipse E600 | BX60 | Axioskop |
DMLA | SMZ1000 | SZX10 | Axioskop 2 MAT |
DMLB | SMZ1500 | SZX12 | Axioskop 2 MOT |
DMLM | SMZ800 | SZX16 | Axioskop 20 |
DMLS |
| SZX7 | Axioskop 40 |
DMR… |
| SZX9 | Axiotech 100 |
DMRB |
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| Stemi 2000 / 2000C |
MS5 |
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MZ12.5 |
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MZ16/MZ16A |
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MZ7.5 |
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MZ9.5 |
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可匹配样品架
订购型号 | 尺寸 | 描述 | 可适配平台型号 |
00-29-401-8010 | 116 × 116 × 7 mm | 单玻片样品架 76 × 26 mm/3“× 1" | SCAN 75 × 50 SCAN 100 × 100 EK 100 × 100 |
00-24-401-0810 | 116 × 116 × 3 mm | 玻璃板 |
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00-24-401-0011 | 116 × 116 × 3 mm | 金属板 | SCAN 75 ×50 |
00-29-400-6000 |
| 样品保持架4“ |
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00-29-440-8000 | 116 x 116 mm x 13,2 mm (L x W x T) | 晶圆夹持器 需要适配器(metal plate 116 x 116 mm (L x W)) 材料:铝、钢和塑料 表面涂层:阳极涂层,黑色漆 | Ek 100 x 100 SCANplus 100 x 100 |
手动显微镜平台 EK 150 × 150(正置显微镜)
订购型号 | 00-23-601-0000 |
行程 | 153 x 153 mm (6" x 6")(max) |
驱动 | 同轴驱动/齿条-小齿轮 具有的粗调 |
材料 | 铝 |
重量 | 3,000 g |
承重 | 5,000 g |
适用显微镜型号:无
可匹配样品架
订购型号 | 尺寸 | 描述 | 可适配平台型号 |
00-24-601-0810 | 168 × 168 × 3 mm | 玻璃板 |
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00-24-601-0011 | 168 × 168 × 3 mm | 金属板 | SCAN 150 ×150 |
00-29-650-8000 | 168 x 168 x 24,5 mm (D x T) | 真空晶圆架(旋转,5"、6"晶圆) 需要适配器(meta plate 168 x 168 mm (L x W)) | EK 150 x 150 MTM 150 x 150 MR SCAN 150 x 15 |
00-29-640-8000 | 168 x 168 mm x 16,2 mm (L x W x T) | 真空晶圆架(旋转,5"、6"晶圆) 需要适配器(metal plate 168 x 168 (L x W)) | EK 150 x 150 MTM 150 x 150 MR SCAN 150 x 150 |
手动显微镜平台 EK200 ×200(正置显微镜)
订购型号 | 00-23-801-0000 |
行程 | 205 × 205 mm (8“ × 8“)(max) |
驱动 | 同轴驱动/齿条-小齿轮 具有的粗调 |
材料 | 铝 |
重量 | ~6.3 kg |
承重 | 5.0 kg |
适用显微镜型号:
Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
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| MX50 |
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| MX50L |
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| MX61 |
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可匹配样品架
订购型号 | 尺寸 | 描述 | 可适配平台型号 |
00-24-801-0810 | 246 x 246 x 4 mm | 玻璃板 |
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00-24-801-0011 | 246 x 246 x 6 mm | 金属板 | SCAN 200 x 200 |
00-29-850-8000 | 200,4 x 200,4 x 24,5 mm (L x W x T) | 真空晶圆架(旋转,6"、8"晶圆) 需要适配器(metal plate 246 x 246 mm (L x W)) | EK 200 x 200 SCAN 200 x 200 |
00-29-340-8000 | 300,4 x 16 mm (D x T) | 真空晶圆架(旋转,6"、8"、12"晶圆) 需要适配器(metal plate 246 x 246 mm (L x W)) | EK 200 x 200 SCAN 200 x 200 |
00-29-840-8000 | 246 x 246 mm x 16 mm (L x W x T) | 真空晶圆架(旋转,5"、6"、8"晶圆) 需要适配器(metal plate 246 x 246 mm (L x W)) | EK 200 x 200 MTM 200 x 200 MR SCAN 200 x 200
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手动显微镜平台 EK300 ×300(正置显微镜)
订购型号 | 00-23-012-0000 |
行程 | 305 × 305 mm (12“ × 12“)(max) |
驱动 | 同轴驱动/齿条-小齿轮 |
材料 | 铝 |
重量 | ~18 kg |
承重 | 5.0 kg |
适用显微镜型号:
Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
|
| MX61L |
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可匹配样品架
订购型号 | 尺寸 | 描述 | 可适配平台型号 |
00-29-350-8000 | 300,4 x 18,5 mm (D x T) | 真空晶圆架(旋转,8"、12"晶圆) 需要适配器(3 threads in top plate of scanning stage) | EK 300 x 300 SCAN 300 x 300 |
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