德国Polytec MSA-100-3D显微式测振仪可在大带宽范围内实时测量被测物体的动态特性，分辨率高，同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量。
德国Polytec MSA-100-3D显微式测振仪产品简介：
MEMS系统的3D振动测量：
实物的振动通常是三维振动。虽然可选择优先显示某特定方向的振动，但由于存在产品公差和其它影响，在其它空间方向也存在运动分量。 MSA-100-3D显微式激光测振仪可在大带宽范围内实时测量被测物体的动态特性，分辨率高，同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。
德国Polytec MSA-100-3D显微式测振仪产品特点：
实时振动测量，高达25MHz的大带宽
用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级
单点式和全场扫描式振动测量
激光光斑小于4μm，横向分辨率高
测试距离大，可达38mm
可与常见的MEMS商用探针测试台兼容
德国Polytec MSA-100-3D显微式测振仪典型应用：
惯性传感器，如加速度计和陀螺仪
微机电传感器和致动器 (MEMS)
打印机喷墨头
压力传感器薄膜
耳机、微型镜头等
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