小型PECVD管式炉系统-长沙沛钰进出品贸易有限公司

产品详情

型号：OTF-1200X-50S-PE

产品概述：OTF-1200X-50S-PE是一款小型等离子体气相沉积管式炉系统（PECVD）。该设备配有等离子射频电源，开启式管式炉（带有真空法兰和连接管道）及一个直联式双旋机械泵。此套设备模型可组合为不同类型的PECVD系统，且设备性价较为理想。

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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情

设备名称

小型PECVD管式炉系统——OTF-1200X-50S-PE

产品提示

1、多种配件可选提示 2、特殊设备尺寸设备 3、科晶实验室邀请提示 4、配件妥善保管提示

产品特点

▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

▪ 整套设备尺寸小巧；

▪ 可通过工艺调节来控制化学计量；

▪ 可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力。

加热炉参数

▪ 温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃；

▪ PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；

▪ 输入电源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

▪ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命。

图片1.jpg 温控仪表.JPG

射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。

	300W射频电源	500W射频电源	100W射频电源
输出功率	0-300W可调（稳定性：±1%）	0-500W可调（稳定性：±1%）	0-100W可调（稳定性：±1%）
射频频率	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）
匹配	自动匹配	自动匹配	手动匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷却方式	风冷	风冷	风冷
输入电压	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
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