该设备的质谱单元选用德国INFICON精密核心部件，PLC为SIEMENS S7系列，辅助电器为Schneider品牌，真空单元选用德国莱宝真空泵组。该设备属双工位组合测试，系统采用很新换算法对数据进行分析处理，能在很短时间内在特定压力下定量、精确测出工件是否大漏、微漏。系统对测试结果及各项参数自动上传保存，本系统支持客户端MES系统。
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该设备的质谱单元选用德国INFICON精密核心部件，PLC为SIEMENSS7系列，辅助电器为Schneider品牌，真空单元选用德国莱宝真空泵组
该设备的质谱单元选用德国INFICON精密核心部件，PLC为SIEMENS S7系列，辅助电器为Schneider品牌，真空单元选用德国莱宝真空泵组。该设备属双工位组合测试，系统采用很新换算法对数据进行分析处理，能在很短时间内在特定压力下定量、精确测出工件是否大漏、微漏。系统对测试结果及各项参数自动上传保存，本系统支持客户端MES系统。
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