5轴磁悬浮涡轮分子泵德国普发真空pfeiffer vacuum磁悬浮涡轮分子泵ATH 3204 M

磁悬浮涡轮分子泵
电磁轴承也被称作“主动式磁悬浮轴承"，其转子位置会被不间断的监测和自动调整，并依靠自动平衡补偿来实现无磨损、低震动的运行。保证转子能持续稳定的工作。同时，这样的轴承设计也实现了零维护和无润滑油。
5轴磁悬浮涡轮分子泵

技术上的杰作

HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。利用这种轴承技术，转子的位置能被实时控制。在工作中，动平衡装置会进行自动校准，可以Z小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极低的维护成本确保了其的性价比。

的兼容性

是否觉得不同的界面接口标准让您头疼不已？我们的磁悬浮涡轮分子泵能提供集成化的电子驱动装置供您选择，从而满足各种不同界面接口的连接需要。

可靠

我们ATH M和ATP M系列的磁悬浮涡轮分子泵拥有5轴磁轴转子监测系统和实时的转子位移自动修正功能。通过采用这种高性能的轴承技术，我们的泵不仅能确保长时间的稳定性和可靠性，同时运行时也非常安静。此系列轴承技术的泵在半导体、镀膜和干蚀刻等离子体过程行业的高真空工艺中具有地位，此外也广泛应用于许多其他工业行业和研发领域。

ATH 3204 M

Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 2400 l/s 的吸气能力

产品描述

紧凑型集成驱动电子设备
用于在所有情况下的安装
水冷
带有CE标志且符合 RoHS 标准
加热版本（MT）可用于腐蚀性应用

产品

ATH 3204 M, DN 320 ISO-F，外部驱动电子设备，水冷，非加热 (TMAAAC64015A)
ATH 3204 MT, DN 320 ISO-F，外部驱动电子设备，水冷，非加热 (TMAAAC681101)

ATH 3204 M, DN 320 ISO-F，外部驱动电子设备，水冷，非加热

概述

Holweck 级 5 轴磁悬浮涡轮泵适合用于 N2的直至 3,050 l/s 的吸气能力
连接法兰 DN 320 ISO-F
紧凑型集成驱动电子设备
用于在所有情况下的安装
水冷，不加热
带有CE标志且符合 RoHS 标准

TMAAAC64015A

技术参数

Ar 的压缩比	> 1 · 109
Ar 的抽速	2900 l/s
Ar 的气体流量	41.6 hPa l/s \| 31.2 Torr l/s \| 41.6 mbar l/s
H2 的压缩比	4.9 · 104
H2 的抽速	1700 l/s
He 的压缩比	9 · 104
He 的抽速	2500 l/s
N2 的压缩比	> 1 · 109
N2 的抽速	3050 l/s
N2 的Z大预真空	3.4 百帕
N2 的气体流量	83.3 hPa l/s \| 62.48 Torr l/s \| 83.3 mbar l/s
允许冷却水的温度	15 – 35 摄氏度
冷却水耗量	1 l/min
冷却类型	水
分离的驱动电气设备	是
声压水平	≤ 45 分贝 (A)
安装方向	所有位置
工作电压	200-240 V AC, 50/60 Hz 0
抽速等级	3200 l/s
接口	远程遥控
方位	配有磁轴承
Z终压力	< 6 · 10-9 百帕
Z终压力时的功率消耗	< 160 瓦
Z高转速	25,000 rpm \| 25,000 min-1
电子驱动单元	外部驱动电子设备
运行时间	< 8 分
连接法兰（入口）	DN 320 ISO-F
连接法兰（出口）	DN 40/50 ISO-KF
重量	80 千克