Diener等离子清洗机NANO系列-上海尔迪仪器科技有限公司

低压等离子清洗机 Diener NENO系列

低压等离子技术，气体在真空中通过获取能量从而被激发。等离子由高能离子、高能电子以及其它反应粒子组成。由上，材料表面可以被有效的改变。等离子效应可分为以下三类：

一微砂喷射：材料表面通过离子轰击被消减

二化学反应：材料表面与离子化的气体发生化学反应

三紫外线放射：紫外射线将长链碳化合物分解

NANO多种配置，满足不同客户需求

VERSION A

VERSION C

VERSION D

VERSION B

VERSION E

Nano 等离子系统能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Nano 等离子系统一同使用的见的选装件： Nano 等离子系统主要应用于以下领域：

技要参数：

	Nano系列
控制系统	半自动型 PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
体积	18~36L
真空腔室	圆形不锈钢件，配有盖子（大约Φ267 mm, 长 420 mm 或者长 600 mm）或者矩形不锈钢件，配有铰链的门（约宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或者 600 mm）配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门（大约Φ 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm）配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门（大约Φ240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm）配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门（大约Φ 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm）
电极	单层或多层 RIE
样品支架	（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
气源	针型阀质量流量控制器 (MFCs)
压力计	Pirani Baratron（适用于腐蚀性气体版本）
计时器	数字型
高频电流发生器	40 kHz: 功率 0 - 300 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W 所有发生器均为 0 - 99% 无级可调型
真空泵	规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）
电源	台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位