日本hamai高纯度气体兼容容器阀

高纯度气体兼容容器阀

与高纯度气体兼容的高性能容器阀，用于半导体制造等

一种高纯度气体的容器阀，与半导体制造中使用的高纯度氮气，高纯度氧气和液化氨兼容。根据气体的种类，我们有各种车身材料（如黄铜和不锈钢）以及各种各样的结构（如背板类型和隔膜类型）的产品阵容。

G-12型铜后座阀

[功能]高纯度气体用黄铜后座阀，阀体采用C3771材料。通过*的O形圈凹槽支持高真空。接地螺母上的双O形圈结构追求更高的气密性。

[规格]
，黄铜
易燃
，不易燃
，助燃

G-55L型黄铜隔膜阀

[特征]铜制隔膜阀，通过研磨膜片和非油脂规格，可支撑更高纯度的气体。通过采用与SUS-55LN型相同的结构，可以实现高耐用性。双O形圈结构是疏散的理想选择。

[规格]
，黄铜
易燃
，不易燃
，助燃

SUS-12型不锈钢隔膜阀

[特点]高纯度气体用不锈钢后座阀，具有与铜G-12型相同的结构，并使用SUS316L，对阀体具有优异的耐腐蚀性。诸如Teflon和双O形圈的密封填料可保持较高的气密性。

[规格]
，不锈钢
-flammable
，不易燃
，助燃

・气体快速逸出，可以缩短检查周期
・搜索气体的改变是一触式
⇒使用大气氮气检查泄漏和总泄漏量后，
　氩气可以通过切换到模式来确定泄漏位置。

-由于没有吸收或渗透到弹性体中，因此可以进行可靠的泄漏检测。

当排出各种气体时，每种气体都会发出自己*的光。通过测量这些光的每个波长的光谱强度，可以测量各种气体的分压。从该分压计算出每种气体的泄漏量。
由于它可以测量光线，因此甚至可以很容易地测量低真空。
（右图是各种气体的发射颜色的示例。）

发射光谱1.png

右图是确认使用已知电导率的元件在大气压空气下进行灵敏度校准后，使用氩气测量泄漏量的精度的图表。通过在大气中校准一次，可以准确测量高达10-8 Pa·m3 / s的气体，而与氮气和氩气等气体类型无关。

SLD氩气敏感性特征图.png