日本chino光学干涉涂层测厚仪 IRMS8599S
IRMS8599将光投射到要测量的薄膜上，并测量表面反射光和反射背上反射光引起的干涉厚度。
它适用于半导体、液晶面板、太阳能电池、LED 面板和涂层等制造工艺。
IRMS8599S 具有 RS-485 通信和模拟输出功能。
实时测量 1 μm 或更小的超薄膜
连续光谱可实现FFT分析和CF（曲线拟合）分析
同时测量多达 4 层
工作温度0~50°C，IP65（防尘防滴结构）
其他特性
IRMS8599S 配备 RS-485 通信和模拟输出功能。
日本chino光学干涉涂层测厚仪 IRMS8599S
规范
IRMS8599S
| 名字 | 光学干涉镀膜测厚仪 |
|---|---|
| 格式 | IRMS8599S |
| 如何衡量 | 可见光近红外连续光谱 |
| 测量范围 | 20纳米~100微米 |
| 测量波长范围 | 0.4~1.0微米 |
| 测量距离/直径 | 10~80毫米/φ20毫米（平行光筒） 18毫米/φ2毫米（会聚光学镜筒） 80毫米/φ5毫米（会聚光学镜筒） |
| 测量间隔 | 10~10000毫秒 |
| 光源 | 钨丝灯 |
| 纤维 | 双分支束光纤 |
| 通信接口 | RS-485 |
| 模拟输出信号 | 4~20mA DC（负载电阻500Ω以下） |
| 权力 | 24V 直流 |
| 功耗 | 高达 150VA |
| 质量 | 约 3.5 千克 |
| 防护结构 | 防尘防溅结构 （IP65） |
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