提高 VK-X100/X200灵活性的周边仪器
VK 系列机架
高硬度专用机架固定在VK显微系统的后边。测量头可以调整至任何高度。在测量头和底座之间插入一个垫块，提高稳定性，有助于高精度的测量。
- 各种物镜
根据物体形状，可以选择各种镜头，包括高N.A. APO镜头、长焦距离镜头和低放大倍率镜头。
- 300 mm 晶片载物台
可以观察和分析整个300 mm晶片，而不会有盲点。设计易于安装。
- 电动载物台
电动载物台对于图像自动连接和 Teaching 至关重要。设计易于安装。
- 大型样品载物台
大型液晶基板、PDP基板等大型物体通过非破坏性观察可以观察、分析任何重要部位。
ISO 25178
表面性状测量模块VK-H1XR
遵照国际规格 ISO25178，可计算平面的各种参数的追加模块软件。可简单测量高度、空间、复合、功能、功能(体积)参数等的各种参数。
支持多种测量的便利功能
解析功能扩展模块VK-H1XP [可选件]
凹凸部测量
将的高度阈值稍上部(凸部)，或下部(凹部)领域分离成各个空间，然后对各个领域进行测量。
位置补正功能 [业界创新性]
设定标准样式，用模版打开另外的图像时，在与注册资料相同的位置，自动进行位置补正，大量地测量时非常有效。
- 高度差分析功能
将 2个图像中的差异作为立体三维图像分析。可以分析表面，并捕捉细小的变化。
球形·平面角度测量
在已的区域，可自动抽出近似圆的半径。非手动，可控制测量偏差。
- 分析微粒使用的模块VK-H1XG [可选件]
对显微系统视野内有许多微粒( 圆圈)的目标物上自动进行“圆形分离"、“扩展"和“融合"。执行了测量预处理后，例如自动分离周围的圆形，可以对“数量"、“微粒直径"以及“长短轴"进行测量。
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