产品概要
· - 排气量(60Hz) : 100 ~ 600 m3/hr
· - 到达真空度 : 5 x 10-4 Torr
罗兹泵(大气压机动型BM系列 BM1A,BM3B,BM3A,BM6A)腔体内的两个花生状的转子固定在齿轮上的轴互相相反方向回转。
吸气口进入的气体关在腔体与转子之间,转子回转的同时通过排气口排出气体。
转子和转子,转子和腔体之间维持很小的间隙(0.1~0.6mm)回转,所以腔体内部以及转子不需要润滑油,排气非常干净。
另外转子在高速回转(Max.3500rpm)时候也与腔体不会产生摩擦,所以半性的。
特别是使用高强度,高纯度铝合金的材质,为了更好地提高耐腐蚀性和强度做了表面处理。油封(Mechanical seal)采用的是特殊材质,根据不同环境工况产生的磨损也可以继续使用。
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