单温区旋转PECVD石墨烯制备
安装有真空自动投料器，炉管尾部预留KF40接口可以连接收料罐。投料器采用螺杆进料，可以以额定的速率将粉料送入炉管，投料速率可通过调节转速来更改。可实现在气氛保护的环境下连续对粉末材料用PECVD方法进行包裹和修饰。收料罐可以在气氛保护环境下对处理好的料粉进行收集。
设备配有100W频率13、56MHz的视频电源。能够在真空中产生等离子体。高能等离子体能够活化样品表面，有效的增强反应效果，提高反应速率，这种辅助方法广泛用于石墨烯制备，颗粒包覆等科学实验上。
本设备特别适合颗粒型样品实验，通过机械传动能够控制工作管360°不间断连续旋转，转速可调，使得管内物料不断的被搅拌混合，充分与气体和等离子体接触，使样品的反应更加均匀稳定。
技术参数：
| 射频电源
| 输出功率 | 150W |
| 输出精度 | ±1% | |
| 射频频率 | 13、56MHz | |
| 射频稳定度 | ±0.005% | |
| 冷却方式 | 风冷 | |
| 1200℃双温区管式炉 | 供电电压 | AC220V，50Hz |
| 额定功率 | 2KW | |
| 加热温区 | 单个温区200mm | |
| 工作温度 | 额定1200℃，连续运行温度应≤1100℃ | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 控温方式 | AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 三温区独立控制，带有过热和断偶保护 | |
| 炉管材质 | 高纯石英 | |
| 炉管尺寸 | φ50x800mm | |
| 密封方式 | 真空不锈钢法兰、KF16法兰 | |
| 可调转速 | 0-20rpm | |
| 倾斜角度 | 0-15° | |
| 真空泵 | 旋片机械泵 | |
| 极限真空度 | 1、0E-1Pa | |
| 进料方式 | 真空漏斗加螺杆进料 |
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