FGL（RTP）滑轨式管式炉(T max 1100℃)
滑轨式管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。
特点
1、 工作温度RT～1000℃。
2、 智能程序控温仪控制精准,可编辑、储存并调用多段程序。
3、 采用陶瓷纤维FEC加热模块，电阻丝内嵌式环绕加热。
4、 炉壳结构，双层炉壳风冷结构。
5、 不锈钢双层密封法兰，进、出气美标针阀。
6、 两端可调节式法兰支撑结构，延长石英管的使用寿命。
7、 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电。
8、 安全保护当炉体漏电时自动断电。
额外选配 炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）；
真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；
气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；
监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）；
注：选件需配置拓展柜体；
技术参数
| 设备常规型号 | 高温度 | 管径 | 加热区 | 温区数 | 热电偶 | 电压 | 功率 |
| FGL(RTP)-40/11/1 | 1100℃ | 40mm | 320 mm | 1个 | K型 | 220V |
3、0KW |
| FGL(RTP)-50/11/1 | 1100℃ | 50mm | 320 mm | 1个 | K型 | 220V | |
| FGL(RTP)-60/11/1 | 1100℃ | 60mm | 320 mm | 1个 | K型 | 220V | |
| FGL(RTP)-80/11/1 | 1100℃ | 80mm | 320 mm | 1个 | K型 | 220V |
注：给出的 高温度为工作管外测定，其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。
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