SGM-LT60-1200立式管式炉为实验室用小型立式管式加热炉,该1200度立式管式炉炉体垂直安装在支撑架上,开启式炉体结构方便取放炉管,便于取放炉管。
能够实现在真空或气氛保护条件下对样品快速升降温,四面加热,温场更均匀,立式结构使得气体排放更加顺畅,配合我司的真空系统和气路系统,可实现立式CVD工艺。
应用领域:
适用于碳纳米管的研制,晶体硅基板镀膜,金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理、薄膜生长、电极测试、氧化物晶体生长、快速退火等实验要求。主要特点:
1.开启式结构,方便取放炉管 2.预留了真空、气路快速接口,可配合我司真空混气系统使用 3.加热元件圆周式布置,加热均匀 4.超温报警井断电调电保护,操作安全可靠小型立式管式加热炉技术参数:
电炉型号 | SGM-LT60-1200 | SGM-LT80-1200 | SGM-LT100-1200 | SGM-LT120-1200 |
设计温度 | 1200℃ | 1200℃ | 1200℃ | 1200℃ |
工作温度 | 1100℃ | 1100℃ | 1100℃ | 1100℃ |
石英管 | Φ40/φ60 | Φ80 | Φ100 | Φ120 |
加热区长度 | 300mm | 300mm | 300mm | 300mm |
炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 | 氧化铝多晶纤维 | 氧化铝多晶纤维 | 氧化铝多晶纤维 |
供电电源 | 110/220V 50/60HZ | 110/220V 50/60HZ | 110/220V 50/60HZ | 110/220V 50/60HZ |
升温速率 | 0-20℃/min | 0-20℃/min | 0-20℃/min | 0-20℃/min |
控温精度 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
热电偶 | K型 | K型 | K型 | K型 |
加热元件 | 含钼电阻丝 | 含钼电阻丝 | 含钼电阻丝 | 含钼电阻丝 |
密封方式 | 不锈钢密封法兰 | 不锈钢密封法兰 | 不锈钢密封法兰 | 不锈钢密封法兰 |
炉膛结构 | 开启式 | 开启式 | 开启式 | 开启式 |
炉体结构 | 立式 | 立式 | 立式 | 立式 |
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