SGM TF160-12大口径真空气氛管式炉为直径160mm的1200度大口径真空气氛管式炉,长期使用1100℃。
1200度大口径真空气氛管式炉可选立式或卧式结构。
主要技术参数:
电炉名称:1200度大口径真空气氛管式炉
电炉型号:SGM TF160-12
炉膛材料:炉膛表面涂有氧化铝涂层,对炉膛表面固化(炉体可在洁净室内使用)
炉管材质:采用高纯度石英管,
炉管管径:φ160*1400mm
设计温度:1200度,
长期工作温度:1100°C,
控温精度:±1°C
配备一对水冷密封法兰(铰链法兰),法兰连接真空计和工控机控制的进气电磁阀(用于控制炉内气氛环境)。炉子底部配备有一个 16L/min 水冷机,用于水冷法兰的供水
系统控制配置:
系统配备控制软件:三温区管式炉、国产分子泵组、4 路供气系统、压力监测和反馈系统、安全泄压装置等参数设定及控制可由一软件统一在工控机上面进行控制。
系统分别配备压力传感器、机械安全阀门各一套,检测到超过安全压力时关闭电磁阀进气,关闭炉体加热,保证实验安全;机械安全阀和压力传感器将配合使用,起到双重保险的作用。
真空系统:
配置无油干泵+分子泵
无油机械泵技术参数
理论抽气速率:3L/S(180L/min)极限真空度:≤5Pa(带石英腔体)
分子泵技术参数
抽气速率:100L/S
极限压强:6X10-6Pa
供气系统
可进四路气,每路气体可按用户使用气体进行标定
各通道的气路设定和查看都统一集中在工控机控制屏幕上面
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