SGM OTF60-120-3Z 管式炉CVD系统是由SGM OTF60-120-3Z 管式炉、3路质量流量控制器、真空系统组成。
技术参数：
电炉型号：SGM OTF60-120-3Z 管式炉
炉管规格:外径60 ×内径54 ×长1000 mm
工作电压:单相 AC 208 - 240V, 50/60H
额定功率：2.5KW
加热原件：Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
设计温度: 1200℃ (使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)
工作温度: 1100℃
推荐升温速率:≤ 20℃ /min
加热区：加热区长度: 400mm
恒温区长度: 约 150mm (±1℃）
控制方式：模糊 PID 控制和自整定调节功能 智能化 30 段可编程控制。
具有超温及断偶报警功能.
控温精度: ±1 ℃
K 型热电偶
安装 PC 控制软件对数据进行实时采集
外形尺寸：炉体 ：590×380×520mm
二、重要配件：
1、质量流量控制器：3路（量程200，300，500各1个）。
2、真空泵：1台（型号VRD）
3、石英管：60*800的1根、60*900的2根（管口烧结处理）
4、316双卡箍三通接头1套，标准四氟管10米。
5、大口径密封法兰加装副通气口1套（配直（弯）宝塔转换头2个、卡箍2个,改用球阀出气口）。
所有评论仅代表网友意见，与本站立场无关。