两路混气CVD系统搭建：1200℃管式炉+浮子流量计-洛阳西格马高温电炉有限公司

1200℃管式炉CVD系统广泛适用于高、中、低温CVD工艺，如：碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等；也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理.

SGM 1200℃管式炉CVD系统专门设计用于高温材料沉积之用。1200℃管式炉CVD系统具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点。

两路气体CVD系统产品特点：

1、1200℃管式采用优质电炉丝加热。
2、炉管为刚玉炉管炉膛,
3、可预抽真空,便于通入参加反应的气体,单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。
4、管式炉有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。

两路气体CVD系统技术参数

1	产品名称	1200℃单温区经济型两路气体CVD系统
2	常规型号	SGM-O1200-50IC150-D2FH
3		SGM-O1200-60IC150-D2FH
4		SGM-O1200-80IC150-D2FH
5		SGM-O1200-100IC150-D2FH
6	炉膛模式	开启式
7	显示模式	高亮数码管显示(LED)
8	炉膛材料	纤维
9	加热元件	合金加热丝
10	极限温度	1200℃
11	工作温度	≤1150℃
12	升温速率	≤20℃(建议:10℃/min)
13	加热温区	单温区
14	温区长度	440mm
15	恒温区长	200mm
16	炉管材质	高纯石英
17	炉管常规直径	50mm
18		60mm
19		80mm
20		100mm
21	炉管长度	1000mm
22	密封方式	不锈钢真空法兰
23	气密性	真空法兰和石英炉管的气密性额定可达4.03×10-3Pa
24	控制模式	智能PID多段程序控温
25	控温精度	±1℃
26	温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
27	预存曲线	可预存1条温度曲线
28	电流监控	指针式电流计
29	电压监控	指针式电压计
30	超温报警	有
31	过流保护	有
32	断偶提示	有
33	测温元件	K型热电偶
34	电气认证	CE认证
35	供电电源	220V 50Hz～60Hz
36	整机功率	2.5KW
37	气体通道	可连接3种气源
38	流量计	浮子流量计
39	A路量程	10～100ml/min
40	B路量程	16～160ml/min
41	气路压力	-0.1～0.15 MPa
42	系统真空	5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置）
43	泵路链接	KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀
44	真空计	标准配置机械真空计，也可选配电子真空计
45	售后服务	12个月质保，终身保修
46	包装形式	木箱或简装
47	随机配件	石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。
48	整套尺寸	左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm