川崎无尘机器人

用于半导体和电子行业

高性能专用搬运机器人

川崎提供了业界的全系列半导体和电子搬运机器人。这些机械手是专为在无尘室中应用而制造的，包括ISO 1级。速度、准确度以及伸展范围使这些机械手适合搬运精密的半导体晶圆、LCD面板、有机EL，以及太阳能电池板。

1.动作顺滑

NTS和TTS系列可以用一台机械手在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。配有川崎的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。

2.*的上下轴伸缩式结构

TTS系列继承了NTS系列的特征，采用了上下轴伸缩式的结构，无论是想将物品搬至高处或是低处，此设备都能做到。

3.以SEMI STANDARD为基准

NTS系列和TTS系列都可对应SEMI-F47以及SEMI-S2规格。充分考虑环境及安全。