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CS200A系列数字式质量流量控制器.高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
产品型号：CS200-A型
产品系列：CS系列数字式质量流量控制器
产品类型：高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
| 型号 | CS200-A | |||||||||
| 阀类型 | 常开(流量规格≤30SLM) 或常闭 | 无 | ||||||||
| 流量规格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM | |||||||||
| 准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |||||||||
| 线性 | ±0.5% F.S. | |||||||||
| 重复精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||
| 响应时间 | ≤ 1sec | |||||||||
| 工作压差范围 | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM 0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM | ＜0.02 MPa | ||||||||
| 温度系数 | 零点: ≤±0.05% F.S/℃; 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM; 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM | |||||||||
| 耐压 | 3MPa | |||||||||
| 漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | |||||||||
| 密封材料 | 氟橡胶； | |||||||||
| 工作环境温度 | （5～45）℃ | |||||||||
| 输入信号 | 数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | 无 | ||||||||
| 输出信号 | 数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | |||||||||
| 零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%F.S/年 | |||||||||
| 电源 | ±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极) | |||||||||
| 表面化学成分 | 常态 | |||||||||
| 表面粗糙度 | 25 Ra | |||||||||
| 标准接头形式 | 双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3； 双卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头; φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm；A 型密封接头; | |||||||||
| 电源接头形式 | D型9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头 | |||||||||
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg | ||||||||
| 型号 | CS200-A | |
| 阀类型 | 常开(流量规格≤30SLM) 或常闭 | 无 |
| 流量规格(N2) | (0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
| 准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
| 线性 | ±0.5% F.S. | |
| 重复精度 | ±0.2% F.S. | |
| 响应时间 | ≤ 1sec | |
| 工作压差范围 | 0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
| 温度系数 | 零点: ≤±0.05% F.S/℃; 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ 流量规格≤30SLM; 调节时: ≤±0.2% F.S/℃ 流量规格＞30SLM | |
| 耐压 | 3MPa | |
| 漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | |
| 密封材料 | 氟橡胶； | |
| 工作环境温度 | （5～45）℃ | |
| 输入信号 | 数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | 无 |
| 输出信号 | 数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 模拟:(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA | |
| 零漂 | 在没有零点校正时＜0.6%F.S/年 | |
| 电源 | ±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极) | |
| 表面化学成分 | 常态 | |
| 表面粗糙度 | 25 Ra | |
| 标准接头形式 | 双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3； | |
| 电源接头形式 | D型9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头 | |
| 重量 | 1 Kg | 0.8Kg |
注意 :
气体质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量的单位规定为：
SCCM (标准毫升/分)；
SLM (标准升/分)
标准状态规定为：温度 —— 273.15K ( 0°C )；
气压 —— 101325 Pa (760mm Hg)
在七星电子 MFC/MFM 产品中心，单位 SCCM 和“mL/min，0°C,1atm"等同，单位 SLM 和“L/min, 0°C,1atm"等同。
F.S. (Full Scale)：满量程值；S.P.(Set Point): 设定点值
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